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陶瓷高精密XY平台
使用场景： 液晶面板检测设备（G4.5,G5,G8） XY台 定位装置 图像处理检测 FPD检测设备 光波导定位装置 晶圆检测 晶圆加工 激光加工 精密装配设备 精密加工装置 液晶面板制造工艺设备 半导体制造工艺设备
所属分类:
陶瓷高精密XY平台
- 产品描述
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- 商品名称: 陶瓷高精密XY平台
使用场景： 液晶面板检测设备（G4.5,G5,G8） XY台 定位装置 图像处理检测 FPD检测设备 光波导定位装置 晶圆检测 晶圆加工 激光加工 精密装配设备 精密加工装置 液晶面板制造工艺设备 半导体制造工艺设备
液晶面板检测设备（G4.5,G5,G8）
XY台
定位装置
图像处理检测
FPD检测设备
光波导定位装置
晶圆检测
晶圆加工
激光加工
精密装配设备
精密加工装置
液晶面板制造工艺设备
半导体制造工艺设备
特征：
①采用高纯度铝制陶瓷空气滑块导轨。
②直度精度:可测量1μm以下。
③姿势精度:可测量2秒以下的高精度。
④最长可达3500st
⑤可再现性0.2μm以内
产品附带检查成绩表。
关键词: 陶瓷高精密XY平台
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